UVW对位平台总体结构

UVW对位平台直线电机多轴平台结构紧凑、低组装，大中空孔，高动态性和优异的几何性能。

该平台属于LMH三轴平台系列，具有高分辨率，高重复定位精度，广泛应用于光学测量仪器，晶圆对准，LCD面板检测，半导体处理，激光切割和钻孔，复合机等。

UVW对位平台总体结构：

UVW对位平台通常由四个模块组成：上表、下底和中间。从模块分布的结构上，可以分为对称结构和非对称结构，而对称结构又可以分为交叉对称结构和四边形对称结构。

不对称结构通常用于超薄或定制需求，通常不能在中间设计通孔，因此在某些特定情况下使用。对称结构在运动算法上更为通用，并且可以在对准平台的中心设计通孔，在一定程度上可以满足透射和反射的对准要求，因此得到了广泛的应用。对称结构中的四边形分布具有较强的刚性和可扩展性，所以卓力汉光学对准平台采用的是更多的四边形对称结构。

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